等离子体是重要的多物理场系统，涉及流体力学、反应工程、物理动力学、传热、质量传递和电磁学。“等离子体模块”是 COMSOL Multiphysics® 专用的附加产品，用于模拟广泛的工程学科中出现的非平衡和平衡放电。“等离子体模块”专为处理任意系统而开发，其中提供预定义的设置用于模拟直流（DC）放电、电感耦合等离子体（ICP）、微波等离子体、电容耦合等离子体（CCP）和电晕放电。